はじめての半導体製造装置
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はじめての半導体製造装置 (ビギナーズブックス 3)
前田 和夫

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商品基本情報

  • 発売日:  1999年03月
  • 著者/編集:   前田 和夫
  • 出版社:   工業調査会
  • 発行形態:  単行本
  • ページ数:  254P
  • ISBNコード:  9784769311690

商品説明

【内容情報】(「BOOK」データベースより)
本書は、半導体製造装置の入門書であるが、単に半導体製造装置の種類や技術を紹介するにとどまらず、半導体市場や技術との絡み、装置としての特殊性といった解説を交えて、読者がより広く半導体製造装置を捉えられるように執筆されている。

【目次】(「BOOK」データベースより)
第0章 半導体製造装置という世界/第1章 半導体デバイスの製造工程/第2章 半導体製造装置の技術史/第3章 半導体製造装置の種類と役割/第4章 半導体製造装置の構成と方式/第5章 各種半導体製造装置の概要/第6章 半導体製造装置の現場/第7章 半導体製造装置の技術要素/第8章 半導体製造装置技術のロードマップ/第9章 21世紀の半導体製造装置ー半導体製造装置進化論

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