機能性無機膜普及版
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機能性無機膜普及版 開発技術と応用 (CMC TL)
上條榮治

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商品基本情報

  • 発売日:  2011年09月
  • 著者/編集:   上條榮治
  • 出版社:   シーエムシー出版
  • 発行形態:  単行本
  • ページ数:  305p
  • ISBNコード:  9784781303598
  • 注記:  『機能性無機膜の製造と応用』改題書

商品説明

【目次】(「BOOK」データベースより)
第1章 無機膜の製造プロセス(PVD法/CVD法 ほか)/第2章 無機膜の製造装置技術(最新のフィルムコンデンサー用巻取蒸着装置/反応性プラズマ蒸着装置 ほか)/第3章 無機膜の物性評価技術(薄膜の組成と構造/薄膜の密着力および内部応力 ほか)/第4章 無機膜の最新応用技術(工具・金型分野への応用/シリサイド系半導体薄膜の発光/受光デバイスへの応用 ほか)/第5章 最新のトピックス(熱線反射膜と製品/プラスチックフィルムのガスバリア膜 ほか)

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