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光・プラズマプロセシング
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光・プラズマプロセシング
明石和夫

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商品基本情報

  • 発売日:  1986年09月
  • 著者/編集:   明石和夫
  • 出版社:   日刊工業新聞社
  • 発行形態:  単行本
  • ページ数:  370,
  • ISBNコード:  9784526020780

商品説明

【目次】(「BOOK」データベースより)
1 非平衡プラズマの基礎/2 プラズマ診断/3 光によるイオン化・励起と反応/4 熱プラズマの基礎と診断/5 プラズマCVDの基礎/6 プラズマCVDプロセス/7 光CVD/8 プラズマ重合/9 有機材料のプラズマ表面処理/10 プラズマエッチングの基礎/11 プラズマエッチングプロセス/12 光エッチング/13 プラズマ表面反応/14 気相熱プラズマプロセス/15 プラズマ製錬・プラズマ溶解/16 プラズマ表面処理プロセス

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