集積回路のための半導体デバイス工学[小林清輝]
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集積回路のための半導体デバイス工学
小林清輝

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商品基本情報

  • 発売日:  2018年04月
  • 著者/編集:   小林清輝
  • 出版社:   コロナ社
  • 発行形態:  単行本
  • ページ数:  186p
  • ISBNコード:  9784339009095

商品説明

【目次】(「BOOK」データベースより)
1章 集積回路の微細化が進められた理由(なぜ集積回路を微細化するのか/集積回路の微細化と性能の推移 ほか)/2章 固体電子論の基礎(自由電子の波動関数/シリコンの結晶構造 ほか)/3章 半導体中のキャリヤ(真性半導体/真性半導体の伝導電子密度と正孔密度 ほか)/4章 MOSFETの動作原理(MOS構造/空乏近似 ほか)/5章 LSI製造プロセス(LSIができるまでの流れ/製造プロセスのフロー ほか)/6章 LSIの構成と動作(DRAMの動作/SRAMの動作 ほか)

【著者情報】(「BOOK」データベースより)
小林清輝(コバヤシキヨテル)
1981年名古屋大学工学部応用物理学科卒業。1983年名古屋大学大学院工学研究科博士前期課程修了(応用物理学専攻)。1983年三菱電機株式会社(LSI研究所、ULSI開発研究所、メモリ事業統括部、ULSI技術開発センター)。1997年博士(工学)(名古屋大学)。2003年株式会社ルネサステクノロジ(生産技術本部、生産本部)。2005年東海大学教授(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)

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