異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用《普及版》[益一哉]
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異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用《普及版》 ーMEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合 (新材料・新素材シリーズ)
益一哉

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商品基本情報

商品説明

【目次】(「BOOK」データベースより)
第1編 総論編/第2編 プロセス技術編/第3編 回路・デバイス設計技術編/第4編 NEMS技術編/第5編 センサ技術編/第6編 RF-MEMS技術編/第7編 エネルギーハーベスト技術編/第8編 実装技術編/第9編 解析・評価技術編

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