半導体CMP用語事典
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半導体CMP用語事典
精密工学会

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商品基本情報

  • 発売日:  2008年10月
  • 著者/編集:   精密工学会
  • 出版社:   オーム社
  • 発行形態:  単行本
  • ページ数:  262p
  • ISBNコード:  9784274206122

商品説明

【内容情報】(「BOOK」データベースより)
加工技術・装置、洗浄・洗浄化技術、計測・評価技術、デバイス化技術などの各分野について、半導体CMP技術・工程に関連する重要用語約450語を、図表・データを用いてわかりやすく解説。付録には、現場実務に必要なデータや関連する単位、CMP装置の年表や、関連学協会機関略称一覧などの便利な情報を掲載。巻末の索引には、英和用語索引を掲載し、使いやすく調べやすい構成。

商品レビュー(1件)

総合評価
 

ブックスのレビュー

  • 半導体関係の初心者向け
    購入者さん
    評価 4.00 4.00
    投稿日:2009年05月09日

    半導体プロセス従事初心者には持ってこいのバイブルです。

    0人が参考になったと回答

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